มีข้อมูลเพิ่มเติม ฝากให้ท่านที่สนใจ....ติดตามขยายความดูอีกเรื่องคือ เรื่อง ไอออน อิมพลานเตชั่น
เป็นข่าวเก่าๆจาก ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ พอดีเคยผ่านตา เลยเก็บไว้ ดังนี้ครับ...
Ion Implantation คือการฝังไอออนที่ผิวของวัสดุ เป็นหนึ่งในกระบวนการปรับผิวหน้าวัสดุให้มีสมบัติ เชิงกายภาพดีขึ้น
เหมาะสำหรับนำไปใช้ในงานพิเศษด้านต่าง ๆ ในกระบวนการนี้ไอออนของธาตุต่าง ๆ เช่น ไนโตรเจน โบรอน ถูกยิงไปฝังบนผิวของวัสดุ
พลังงานของไอออนส่วนใหญ่มีค่าอยู่ในเรือน 100 keV ขึ้นไป ไอออนจะฝังลึกลงไปในผิวประมาณ 0.1 ไมครอน กระบวนการทั้งหมด
ดำเนินไปในห้องที่มีความดันบรรยากาศต่ำ สมบัติเชิงกายภาพที่ผิวซึ่งเกิดการเปลี่ยนแปลงหลังจากการฝังด้วยไอออนจำนวนหนึ่งคือ
ความแข็ง การสึกหรอ การเสียดทาน และการเป็นสนิม เป็นต้น
เครื่องไอออนอิมพลานเตชั่นประกอบด้วย เครื่องกำเนิดไอออนระบบเร่งอนุภาค ระบบกรองอนุภาค(beam analyser), ระบบ
นำลำอนุภาค(beam transport system) และห้องแขวนเป้า(target chamber) โดยที่ส่วนประกอบ ทั้งหมดนี้อยู่ในระบบสูญญากาศ
เครื่องกำเนิดไอออนเป็นแหล่งผลิตไอออนให้แก่ระบบ ไอออนจากเครื่องกำเนิด จะถูกทำให้มีพลังงานตามที่ต้องการด้วยระบบเร่งอนุภาค
โดยทั่วไปแล้วไอออนที่ผลิตจากเครื่องกำเนิดไอออน มีหลายชนิด เมื่อไอออนเหล่านี้ผ่านเข้าไปในส่วน beam analyser ไอออน
ชนิดที่ไม่ต้องการก็จะถูกคัดออก ทำให้ได้ลำไอออนที่บริสุทธิ์ออกมา หลังจากนั้นลำไอออนจะถูกนำส่งไปยังพื้นผิวของวัสดุที่วางอยู่ใน
target chamber ในบรรดาส่วนประกอบของเครื่องไอออนอิมพลานเตชั่นที่กล่าวมาแล้วนั้น เครื่องกำเนิดไอออนเป็นส่วนที่ซับซ้อนที่สุด
ซึ่งอาจถือได้ว่าเป็นหัวใจของเครื่องอิมพลานเตชั่น ในขณะที่ beam analyser และ beam transport system ซึ่งเป็นระบบแม่เหล็กไฟฟ้า
ก็นับว่าเป็นเทคโนโลยีที่มีความสำคัญไม่แพ้กัน
ไอออนอิมพลานเตชั่นเป็นเทคนิคของการเคลือบแข็งแบบใหม่ที่มีลักษณะโดดเด่นเฉพาะตัว คือ
- เคลือบวัสดุ โดยไม่เปลี่ยนแปลงขนาดของวัสดุนั้น,
- ไม่มีปัญหาเกี่ยวกับการติดแน่นของสารเคลือบกับวัสดุ,
- ไม่มีปัญหา Thermal distortion ผิวชิ้นงานได้รับการขัดไปในตัว
- การฝังตัวของอะตอมเป็นกระบวนการระดับจุลภาค ดังนั้น การรวมตัวกับธาตุเดิมจึงกลมกลืนที่สุด
นอกจากนี้วิธีไอออนอิมพลานเตชั่นยังเป็นการเปลี่ยนแปลงสมบัติผิวของวัสดุ ซึ่งขึ้นกับชนิดของไอออนที่ใช้ด้วย
แหล่งข้อมูลเพิ่มเติม : Web Sites
- ION IMPLANTATION :
http://www.rpi.edu/dept/chem-eng/WWW/faculty/cale/cl./SMP/lecture8/sld001.htmปัจจุบันผมยังไม่อัพเดทเรื่องนี้ครับ....
